[新品] 太陽能電池等離子刻蝕機

◆ 外形尺寸(不包括報警燈)  

 1350(W)×800(D)×1750(H)mm

  ◆ 倉體結構(鋁，約125升)

 500(W)×500(D)×500(H)mm

 ◆ 旋轉平臺

 Φ 400mm ，轉速可調節

 ◆ 等離子發生器(美國)

 頻率13.56MHZ,功率0-1250W連續調節,自動阻抗匹配,全電路保護,可連續長時間工作

  ◆ 控制系統

 觸摸電腦+PLC全自動控制,采用歐姆龍、西門子等世界***品牌電器元件，性能穩定可靠,并具有手動、自動兩種模式

 ◆ 真空系統(真空壓力PID閉環自動控制)

 前級泵/ 英國愛德華爪式干泵 GV80

二級泵/ 英國愛德華羅茨泵  EH250(70L/S)  

美國MKS真空壓力控制節流閥及薄膜式傳感器      

 臺灣氣動真空角閥、充氣閥、DN63不銹鋼真空波紋管

 ◆ 充氣系統

 美國MKS高精度電子質量流量計(四路氣體配制)

 美國世偉洛克氣體管路及接口組件，德國雙級減壓閥

 日本SMC及CKD高真空氣閥組件