電阻率方阻測試儀(KDB-1)

該設備為廣東省2013年創新基金資助項目(2013B011201298)。

本方阻測試新產品為薄膜測試提供機械、電氣兩方面的保護，在寬廣的量程范圍內，使各種電子薄膜能得到準確、無損的方塊電阻測量結果。

由于新型薄膜材料種類繁多，研制過程中樣品性能變化較大，而且各種薄膜的機械強度，允許承受的電壓、電流均不相同，因此KDB-1型測試儀可為用戶量身定制各種特定探針壓力及曲率半徑的探針頭，儀器的測試電流分7檔，可由0.4μA增加到***大為1000mA，測試電壓可由8V增加到80V，測試電壓和測試電流均可連續調節，給薄膜、涂層的研制者提供了一個摸索***佳測試條件的寬闊空間。

由于儀器設有恒流源開關，并且所有電流檔在探針與樣品接觸后均有電流延時接通的功能，充分保護了樣品表面不會因為探針接觸時產生的電火花而受到損壞。

儀器性能

方阻測量范圍：1×10^-5～2×10⁶Ω/□，***小分辨率1×10^-5Ω/□；

電阻率測量范圍：1×10^-6～2×10⁵Ω·cm或1×10^-8～2×10³Ω·m，***小分辨率1×10^-6Ω·cm或1×10^-8Ω·m；

探針壓力：25g～250g；

探針曲率半徑：25μm～450μm

（注：探針壓力及曲率半徑可根據薄膜材料性能及用戶需求定制）；

測試電流分7檔：1μA、10μA、100μA、1mA、10 mA、100 mA、1000 mA；

測試電壓：（1μA～10 mA檔）12～80V連續可調

           （100mA檔）    8～36V連續可調

          （1000mA檔）    8～15V連續可調；

測量方式：手動或自動（配置專用測試軟件）；

測量對象：導電薄膜、半導體薄膜、電力電容器鋁箔、各種金屬箔、銀漿涂層、鋰電池隔膜等各種新型電子薄膜。